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產品介紹 
光罩儲存及存取系統
200mm SMIF 自動化
Robot 及 EFEM 系統
直立式晶圓自動化系統
生產,流程管理, 物料追蹤管理系統
Wafer 烘烤系統
太陽能生產設備
LED 整合系統
ICCI產品 - 爐管控制元件
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ICCI Controller

        ICCI SLC-99 Controllers

    To replace obsolete controllers:

  • Diffusion Furnaces (Bruce, TEL, Thermco, Tempress, Tystar, etc.) 
  • Gasonics Hypox Systems
  • ASM and Pacific Western Plasma CVD Systems 

       Controller Functionality:

  • 1 to 99 Steps per recipe
  • Allowable Exit Conditions for Each Step
  • 3 or 5 Independent Temperature Control Loops
  • 16 Valve Outputs
  • 8 Analog (MFC, Pressure Control, etc.) Loops
  • Step Redirect
  • Boat Loader Control

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